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第245章 牛逼的铁人三项 (第2/2页)
1)激光脉冲被放大到非常高的功率,输出超过30kW平均脉冲功率的激光。 2)不断滴下的锡珠被激光束击中成为一个发光的等离子体,发射出波长为指定数值的的EUV光。 3)极紫外光聚焦后,通过反射透镜首先传输到光刻掩模上,然后照射到晶圆基片上。 技术难点: 1)放大阶段会不断增加它的功率,但必须确保两个光束在锡珠上有正确的聚焦,同时还要满足其他光学性能。 2)由于每束脉冲激光都由非常微小的、紧凑的光粒子组成,需要紧紧地抛向锡珠为了正确地击中它们的目标,它们必须在正确并精确的瞬间到达;否则,冲击力将无法压平锡珠。 3)激光束以极大的功率稳定传输,同时还要准确无间的和其他部件协作,系统的复杂性极高,研究光源的同时,其他部分也需要同时开启研发。 从这两个目标的大纲规划来看,第一个目标相对容易,有现成的研究成果支撑,只需要不断的调整即可。 最难的是第二个工程,EUV光刻机的技术论证是一个极其庞大的过程,李树的超级数据库里,虽然已经有成熟的整机可供参考,不过以目前现实的技术条件来说,最关键的部分还是难以开始。 可以确定的是,西方发达国家已经从现在开始了对EUV光刻机的研究工作,同时倾注了大量的财力和人力,华夏虽条件不如人家,可也要奋起直追了。 马瑶翻了一会儿复杂的技术资料,叹了一口气道:“第一个目标倒是只需要花时间即可,可第二个目标极紫外光光刻机的第一步就难住咱们了,超过30Kw的激光脉冲仪器,其中涉及的材料好复杂,很多目前国际上都还没有。” “就是要做目前国际上没有的,相关的理论技术我已经完成整理,咱们一步一个脚印的突破即可!”李树鼓励道。 为了产生大功率的激光脉冲,李树首先想到的是锁模技术。 锁模激光器里第一个要攻克的是钛宝石激光晶体,现在这种晶体倒是能满足普通的低功率激光脉冲,可要满足30kw的激光脉冲,就需要再次基础上提高指标了。 即便在未来,钛宝石激光晶体都是对华夏禁运的只能自己制造。 “小瑶,未来咱们先建立完整的晶体生长体系,你应该这样来搭建……”李树开始和马瑶讨论起来。 听着李树详细的介绍,马瑶一开始很感兴趣,不过慢慢的开始皱眉,她叹了一口气道:“这么多步骤,需要这么多设备,危险性还这么大,钱又不够花了。” 李树笑了笑道:“这个项目不能单靠咱们振蓝了,我要想着和科学院周院长商量,让高层想想办法,为这个大国重器想想办法。” 今天的两个目标之外,其实还有一个迫在眉睫的目标,那就是向国家要钱。 李树有信心要到这个钱,因为专家和高层应该知道,为光刻机研发高性能的钛宝石其实有很多好处,不但能用于光刻机,还能用于军工、基础物理研究等方面。无必勿增的超级工业黑科技系统
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